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產品分類三維小體積壓電納米定位臺PT-NMXYZ30
品牌 | PDV/派迪威 | 應用領域 | 綜合 |
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產品參數:
按要求定制 | ||
型號 | PT-NMXYZ30 | |
運動自由度 | X、Y、Z | |
驅動控制 | 1路驅動,1路傳感 | |
X,Y方向行程 | 大于40μm | |
Z軸行程 | 40μm | |
X軸精度 | 高于500nm | |
Y,Z方向精度 | 高于1000nm | |
標稱行程范圍(0~120V) | 80μm±10% | |
Max.行程范圍(0~150V) | 100μm±10% | |
傳感器類型 | SGS/- | |
閉/開環分辨率 | 3/0.1nm | |
閉環線性度 | 0.05/-%F.S. | |
閉環重復定位精度 | 0.02/-%F.S. | |
俯仰/偏航/滾動 | <10μrad | |
推/拉力 | 30/10N | |
運動方向剛度 | 0.3N/μm±20% | |
空載諧振頻率 | 0.3kHz±20% | |
閉/開環空載階躍時間 | 10/0.8ms±20% | |
閉環工作頻率(-3dB) | 70(負載100g)Hz±20% | |
承載能力 | 水平安裝 | 0.8kg |
立式安裝 | 0.05kg | |
倒置安裝 | 0.8kg | |
靜電容量 | 1.8μF±20% | |
材質 | 鋼、鋁 | |
重量 | 100g±5% |
產品尺寸:
北京派迪威儀器有限公司(簡稱:派迪威)是一家集光學、精密機械、自動化控制等技術于一體的企業。自2005年起一直服務于科研大專院校根據客戶需求,研發配套軟硬件系統產品(光路搭建、軟件開發、機械電路設計等)通過長期的不懈努力、對光路搭建系統的工藝把控和對客戶的優良服務,在科研、大專院校、機械自動化等諸多領域成長為信譽度良好的廠商。公司設計生產長焦鏡頭,自動化機械控制臺、手動控制臺、超亮度光源等產品。